Logo BSU

Поиск


Текущие фильтры:

Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 21-30 из 40.
Найденные документы:
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2019Спектры НПВО имплантированных ионами бора пленок диазохинонноволачного фоторезиста на кремнииПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Гринюк, Е. В.; Янковский, Ю. Н.
2020Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста, имплантированных ионами сурьмыБринкевич, Д. И.; Бринкевич, С. Д.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2020Адгезионные и прочностные свойства пленок диазохинон-новолачного фоторезиста на кремнии, облученных гамма-квантамиВабищевич, С. А.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, Н. В.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2001Дефектообразование в кремнии при высокоэнергетичной ионной имплантацииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2016О применимости методов индентирования и склерометрии для измерения прочностных характеристик полимерных пленок на кремнииБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.
2016Модификация структур фоторезист – кремний при высокоэнергетических воздействияхПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Янковский, Ю. Н.
2010ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В ПЛАСТИНАХ БЕЗДИСЛОКАЦИОННОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ПОДВЕРГНУТЫХ БЫСТРОМУ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМУ ОТЖИГУПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Васильев, Ю. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Простомолотов, А. И.; Верезуб, Н. А.; Меженный, М. В.; Резник, В. Я.
2007Микротвердость кремния, имплантированного высокоэнергетичными ионами бораВабищевич, C. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.
2008Взаимодействие атомов золота с преципитатами кислорода в монокристаллическом кремнииВабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, О. Н.; Янковский, Ю. Н.
2008Формирование сильнолегированных «карманов» КМОП-структур высокоэнергетичной ионной имплантациейБринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, О. Н.; Янковский, Ю. Н.