Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233901| Заглавие документа: | Спектры НПВО имплантированных ионами бора пленок диазохинонноволачного фоторезиста на кремнии |
| Другое заглавие: | FTIR Spectra of Diazo-Quinonnovolac Photoresist Films on Silicon Implanted by Boron Ion / V.S. Prosolovich, D.I. Brinkevich, S.D. Brinkevich, E.V. Grinyuk, Yu.N. Yankovski |
| Авторы: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Бринкевич, С. Д. Гринюк, Е. В. Янковский, Ю. Н. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 169-171. |
| Аннотация: | Исследованы процессы модификации спектров нарушенного полного внутреннего отражения имплантированных ионами бора c энергией 60 кэВ в интервале доз 1⋅10 15 –1⋅10 16 cм-2 пленок диазохинонноволачного фоторезиста ФП9120 толщиной 1.0 и 2.5 мкм. В спектрах НПВО облученных ионами В+ структур фоторезист-кремний наблюдается подъем фона поглощения с ростом дозы имплантации, обусловленный вероятнее всего процессами рассеяния на границе раздела фоторезист-кремний и на дефектно-примесных включениях в имплантированном слое. В процессе ионной имплантации происходила интенсивная трансформация спектра, выражавшаяся в перераспределении интенсивности полос и появлении интенсивных полос с максимумами при 2151 и 2115 см-1, обусловленных валентными колебаниями двойных кумулятивных связей, в частности С=С=О. В имплантированных образцах наблюдалось смещение в низкоэнергетичную область на 2-4 см-1 максимумов валентных колебаний С-Н–связей и перераспределению интенсивностей между этими максимумами в пользу более низкоэнергетичного максимума. Аналогичный эффект наблюдался также для плоскостных деформационных колебаний О-Н связей и пульсационных колебаний углеродного скелета ароматических колец. |
| Аннотация (на другом языке): | The processes of modification under ion implantation of frustrated total internal reflection (FTIR) spectra of diazoquinone-novolak photoresist films were studied. Films of positive photoresist FP9120 with a thickness of 1.0 and 2.5 μm were deposited by centrifuging on the KDB-10 silicon plates with orientation (111). Implantation with 60 keV B + ions in the dose range of 10 15 –10 16 cm-2 in the constant ion current mode (current density j = 4 μA / cm-2) was conducted at room temperature in a residual vacuum not worse than 10 -5 Pa on the Vesuvius-6 ion beam accelerator. The FTIR spectra were recorded in the range 400-4000 cm-1 on ALPHA spectrophotometer (Bruker Optik GmbH) at room temperature. In the FTIR spectra of photoresist-silicon irradiated with H-ion ions, a rise in the background is observed with increasing implantation dose, most likely due to scattering processes at the photoresist-silicon interface and on impurity-impurity inclusions in the implanted layer. In the process of ion implantation, an intense transformation of the spectrum took place, expressed in the redistribution of the intensity of the bands and the appearance of intense bands with maxima at 2151 and 2115 cm-1, due to the stretching vibrations of double cumulative bonds, in particular C=C=O. In implanted samples, a shift to the low-energy region by 2–4 cm-1 of the maxima of the C–H bond vibrations and a redistribution of intensities between these maxima in favor of a lower-energy maximum was observed. A similar effect was also observed for plane deformation vibrations of O–H bonds and pulsation vibrations of the carbon skeleton of aromatic rings. |
| Доп. сведения: | Секция 2. Радиационные эффекты в твердом теле = Section 2. Radiation Effects in Solids |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233901 |
| ISSN: | 2663-9939 |
| Располагается в коллекциях: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 169-171.pdf | 594,96 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.