Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223343
Title: Взаимодействие атомов золота с преципитатами кислорода в монокристаллическом кремнии
Authors: Вабищевич, С. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Янковский, О. Н.
Янковский, Ю. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2008
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 76-80
Abstract: Легирование кремния золотом широко используется для снижения времени жизни носителей заряда и, соответственно, повышения быстродействия полупроводниковых приборов [1]. Поскольку выбраковка кремниевых пластин часто связана с их механическими повреждениями, актуальной является задача определения механизма влияния изменения дефектно-примесного состава кремния на его прочностные характеристики. Целью настоящей работы являлось установление влияния легирования монокристаплического кремния примесью золота на электрофизические свойства и прочностные характеристики материала, подвергшегося высокотемпературной термообработке. Содержание золота в образцах контролировалось методом нейтронно-активационного анализа. Концентрация золота в электрически активном состоянии контролировалась методом измерения эффекта Холла.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223343
ISBN: 978-985-518-091-4
Appears in Collections:2008. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
76-80.pdf830,15 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.