Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223343| Title: | Взаимодействие атомов золота с преципитатами кислорода в монокристаллическом кремнии |
| Authors: | Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, О. Н. Янковский, Ю. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. III Междунар. науч. конф., Минск, 25-26 сент. 2008 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. - Минск : БГУ, 2008. - С. 76-80 |
| Abstract: | Легирование кремния золотом широко используется для снижения времени жизни носителей заряда и, соответственно, повышения быстродействия полупроводниковых приборов [1]. Поскольку выбраковка кремниевых пластин часто связана с их механическими повреждениями, актуальной является задача определения механизма влияния изменения дефектно-примесного состава кремния на его прочностные характеристики. Целью настоящей работы являлось установление влияния легирования монокристаплического кремния примесью золота на электрофизические свойства и прочностные характеристики материала, подвергшегося высокотемпературной термообработке. Содержание золота в образцах контролировалось методом нейтронно-активационного анализа. Концентрация золота в электрически активном состоянии контролировалась методом измерения эффекта Холла. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223343 |
| ISBN: | 978-985-518-091-4 |
| Appears in Collections: | 2008. Материалы и структуры современной электроники |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.