Взаимодействие атомов золота с преципитатами кислорода в монокристаллическом кремнии

Abstract

Легирование кремния золотом широко используется для снижения времени жизни носителей заряда и, соответственно, повышения быстродействия полупроводниковых приборов [1]. Поскольку выбраковка кремниевых пластин часто связана с их механическими повреждениями, актуальной является задача определения механизма влияния изменения дефектно-примесного состава кремния на его прочностные характеристики. Целью настоящей работы являлось установление влияния легирования монокристаплического кремния примесью золота на электрофизические свойства и прочностные характеристики материала, подвергшегося высокотемпературной термообработке. Содержание золота в образцах контролировалось методом нейтронно-активационного анализа. Концентрация золота в электрически активном состоянии контролировалась методом измерения эффекта Холла.