Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223654
Title: Микротвердость кремния, имплантированного высокоэнергетичными ионами бора
Authors: Вабищевич, C. А.
Вабищевич, Н. В.
Бринкевич, Д. И.
Просолович, В. С.
Янковский, Ю. Н.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2007
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 190-191.
Abstract: Исследовано изменение микротвердости пластин кремния при высокоэнергетичной имплантации бора (5,6 - 13,6 МэВ) дозой 1.10^13 до 1.10^16 см^-2. Обнаружено упрочнение приповерхностного слоя толщиной до 1 мкм.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/223654
ISBN: 978-985-476-530-3
Appears in Collections:2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
190-191.pdf439,98 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.