Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2018 | Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии | Оджаев, В. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Тарасик, М. И.; Челядинский, А. Р. |
| 2012 | ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ СУРЬМЫ С МИКРОПОРАМИ ГЕТТЕРНОГО СЛОЯ В КРЕМНИИ | Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б.; Тарасик, М. И.; Турцевич, А. С.; Васильев, Ю. Б. |
| 2019 | Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов | Оджаев, В. Б.; Панфиленко, А. К.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Филипеня, В. А.; Челядинский, А. Р.; Черный, В. В.; Шестовский, Д. В.; Шпаковский, С. В. |
| 2007 | Влияние радиационных дефектов на диффузию имплантированного мышьяка в кремнии | Хосе Араика Ривера, Оскар; Джадан, М.; Челядинский, А. Р. |
| 2010 | Влияние радиационных дефектов на диффузию мышьяка и сурьмы в имплантированном кремнии | Джадан, М.; Оскар Хосе Араика Ривера; Челядинский, А. Р.; Явид, В. Ю. |
| 2001 | Влияние редкоземельных элементов на распределение центров рекомбинации в кристаллах p-Ge для детекторов ионизирующих излучений | Явид, B. Ю.; Якубеня, С. Н.; Челядинский, А. Р. |
| 2018 | Геттерирование неконтролируемых примесей в высокоомных пластинах кремния | Лемешевская, А. М.; Оджаев, В. Б.; Петлицкий, А. Н.; Тарасик, М. И.; Цымбал, В. С.; Челядинский, А. Р.; Шестовский, Д. В. |
| 2016 | Геттерирование примесей в кремнии и параметры структур «металл – окисел – полупроводник» | Васильев, Ю. Б.; Оджаев, В. Б.; Панфиленко, А. К.; Петлицкий, А. Н.; Садовский, П. К.; Тарасик, М. И.; Филипеня, В. А.; Челядинский, А. Р. |
| 2015 | Диффузия имплантированного фосфора в кремнии | Челядинский, А. Р. |
| мар-1995 | Ионная имплантация примесей в монокристаллы кремния: эффективность метода и радиационные нарушения | Челядинский, А. Р.; Вавилов, В. С. |
| мая-2006 | Локализация имплантируемых примесей бора и углерода в кремнии | Плебанович, В. И.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б. |
| 2001 | Локализация имплантируемых примесей в кремнии | Челядинский, А. Р.; Джадан, М. |
| 2017 | Моделирование диффузии имплантированного бора в кремнии | Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б. |
| 2011 | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ ИМПЛАНТИРОВАННОГО ФОСФОРА В КРЕМНИИ | Буренков, В. А.; Челядинский, А. Р. |
| 2003 | Накопление радиационных дефектов в кремнии при имплантации ионов азота | Челядинский, А. Р.; Явид, В. Ю.; Венгерэк, П. |
| 2017 | О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии | Оджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Тарасик, М. И.; Челядинский, А. Р. |
| 2004 | Остаточные дефекты в кремнии, имплантированном ионами бора и фосфора | Комаров, Ф. Ф.; Джадан, М.; Гайдук, П. И.; Челядинский, А. Р.; Явид, В. Ю.; Жуковский, П. В.; Партыка, Я.; Венгерек, П. |
| 2008 | Поведение примесей сурьмы и фосфора в имплантированном кремнии | Белоус, А. И.; Васильев, Ю. Б.; Емельянов, В. А.; Оджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р. |
| 2014 | Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге | Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б.; Тарасик, М. И.; Шейников, Д. П. |
| 2010 | Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге | Васильев, Ю. Б.; Плебанович, В. И.; Оджаев, В. Б.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Гайдук, П. И.; Прокопьев, С. Л. |