Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/236658| Заглавие документа: | Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии |
| Авторы: | Оджаев, В. Б. Петлицкий, А. Н. Плебанович, В. И. Садовский, П. К. Тарасик, М. И. Челядинский, А. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2018 |
| Издатель: | Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук (Санкт-Петербург) |
| Библиографическое описание источника: | Физика твердого тела.— 2018.— Т. 60, № 1.— С. 22—24. |
| Аннотация: | Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя в кремнии. Геттерный слой создавался путем имплантации в кремний ионов Sb+ и последующих термообработок. Обнаружено, что атомы сурьмы, расположенные в окрестности микропор, захватываются на микропоры в процессе геттерирующего отжига и теряют электрическую активность. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии. Это объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/236658 |
| ISSN: | 0367-3294 (Print) |
| DOI документа: | 10.21883/FTT.2018.01.45283.123 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Взаимодействие атомов Sb с микропорами в Si.pdf | 224,7 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.