Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/236658| Title: | Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии |
| Authors: | Оджаев, В. Б. Петлицкий, А. Н. Плебанович, В. И. Садовский, П. К. Тарасик, М. И. Челядинский, А. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук (Санкт-Петербург) |
| Citation: | Физика твердого тела.— 2018.— Т. 60, № 1.— С. 22—24. |
| Abstract: | Исследовано взаимодействие атомов Sb с микропорами геттерного слоя в кремнии. Геттерный слой создавался путем имплантации в кремний ионов Sb+ и последующих термообработок. Обнаружено, что атомы сурьмы, расположенные в окрестности микропор, захватываются на микропоры в процессе геттерирующего отжига и теряют электрическую активность. Энергия активации процесса захвата сурьмы на поры ниже энергии активации диффузии сурьмы в кремнии. Это объясняется влиянием на процесс диффузии полей упругих деформаций вокруг микропустот. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/236658 |
| ISSN: | 0367-3294 (Print) |
| DOI: | 10.21883/FTT.2018.01.45283.123 |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Взаимодействие атомов Sb с микропорами в Si.pdf | 224,7 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.