Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49700| Заглавие документа: | Влияние радиационных дефектов на диффузию мышьяка и сурьмы в имплантированном кремнии |
| Авторы: | Джадан, М. Оскар Хосе Араика Ривера Челядинский, А. Р. Явид, В. Ю. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2010 |
| Издатель: | Издательский центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 118-124. |
| Аннотация: | Исследовано влияние на диффузию мышьяка и сурьмы радиационных дефектов, вводимых в слои кремния, предварительно легированные этими примесями, путем дополнительной имплантации ионов кремния. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49700 |
| ISBN: | 978-985-476-885-4 |
| Располагается в коллекциях: | 2010. Материалы и структуры современной электроники |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| М. Джадан, Оскар Хосе Араика Ривера, А.Р. Челядинский, В.Ю. Явид.pdf | 718,82 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.