Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/49700
Title: Влияние радиационных дефектов на диффузию мышьяка и сурьмы в имплантированном кремнии
Authors: Джадан, М.
Оскар Хосе Араика Ривера
Челядинский, А. Р.
Явид, В. Ю.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2010
Publisher: Издательский центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 118-124.
Abstract: Исследовано влияние на диффузию мышьяка и сурьмы радиационных дефектов, вводимых в слои кремния, предварительно легированные этими примесями, путем дополнительной имплантации ионов кремния.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/49700
ISBN: 978-985-476-885-4
Appears in Collections:2010. Материалы и структуры современной электроники



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.