Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/28236
Title: МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ ИМПЛАНТИРОВАННОГО ФОСФОРА В КРЕМНИИ
Authors: Буренков, В. А.
Челядинский, А. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2011
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011.
Abstract: Представлены результаты численного моделирования диффузии имплантированного фосфора в слоях кремния с различной концентрацией радиационных дефектов и примесей IV группы (C, Ge).
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/28236
Appears in Collections:2011. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Буренков-Челядинский.pdf224,27 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.