Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28236| Заглавие документа: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ ИМПЛАНТИРОВАННОГО ФОСФОРА В КРЕМНИИ |
| Авторы: | Буренков, В. А. Челядинский, А. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2011 |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Аннотация: | Представлены результаты численного моделирования диффузии имплантированного фосфора в слоях кремния с различной концентрацией радиационных дефектов и примесей IV группы (C, Ge). |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28236 |
| Располагается в коллекциях: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Буренков-Челядинский.pdf | 224,27 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.