Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/28236| Title: | МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИИ ИМПЛАНТИРОВАННОГО ФОСФОРА В КРЕМНИИ |
| Authors: | Буренков, В. А. Челядинский, А. Р. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2011 |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: Материалы 9-й Междунар. конф., 20-22 сент. 2011 г. — Минск,2011. |
| Abstract: | Представлены результаты численного моделирования диффузии имплантированного фосфора в слоях кремния с различной концентрацией радиационных дефектов и примесей IV группы (C, Ge). |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/28236 |
| Appears in Collections: | 2011. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Буренков-Челядинский.pdf | 224,27 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.