Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/236532| Заглавие документа: | Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов |
| Авторы: | Оджаев, В. Б. Панфиленко, А. К. Петлицкий, А. Н. Просолович, В. С. Ковальчук, Н. С. Соловьев, Я. А. Филипеня, В. А. Челядинский, А. Р. Черный, В. В. Шестовский, Д. В. Шпаковский, С. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Минск : БНТУ |
| Библиографическое описание источника: | Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. — Минск : БНТУ, 2019. — С. 345—346. |
| Аннотация: | В работе исследовалась возможность применения азотирования подзатворного окисла методом ионной имплантации (ИИ) с целью определения оптимальных режимов ИИ азота, окисления и отжига для получения силовых МОП-транзисторов с улучшенными характеристиками. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/236532 |
| ISBN: | 978-985-583-476-3 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| P.345-346.pdf | 980,82 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.