Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/236532
Title: Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов
Authors: Оджаев, В. Б.
Панфиленко, А. К.
Петлицкий, А. Н.
Просолович, В. С.
Ковальчук, Н. С.
Соловьев, Я. А.
Филипеня, В. А.
Челядинский, А. Р.
Черный, В. В.
Шестовский, Д. В.
Шпаковский, С. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
Issue Date: 2019
Publisher: Минск : БНТУ
Citation: Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. — Минск : БНТУ, 2019. — С. 345—346.
Abstract: В работе исследовалась возможность применения азотирования подзатворного окисла методом ионной имплантации (ИИ) с целью определения оптимальных режимов ИИ азота, окисления и отжига для получения силовых МОП-транзисторов с улучшенными характеристиками.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/236532
ISBN: 978-985-583-476-3
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
P.345-346.pdf980,82 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.