Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов

Оджаев, В. Б.; Панфиленко, А. К.; Петлицкий, А. Н.; Просолович, В. С.; Ковальчук, Н. С.; Соловьев, Я. А.; Филипеня, В. А.; Челядинский, А. Р.; Черный, В. В.; Шестовский, Д. В.; Шпаковский, С. В.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/236532

Title:	Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов
Authors:	Оджаев, В. Б. Панфиленко, А. К. Петлицкий, А. Н. Просолович, В. С. Ковальчук, Н. С. Соловьев, Я. А. Филипеня, В. А. Челядинский, А. Р. Черный, В. В. Шестовский, Д. В. Шпаковский, С. В.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение
Issue Date:	2019
Publisher:	Минск : БНТУ
Citation:	Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. — Минск : БНТУ, 2019. — С. 345—346.
Abstract:	В работе исследовалась возможность применения азотирования подзатворного окисла методом ионной имплантации (ИИ) с целью определения оптимальных режимов ИИ азота, окисления и отжига для получения силовых МОП-транзисторов с улучшенными характеристиками.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/236532
ISBN:	978-985-583-476-3
Appears in Collections:	Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
P.345-346.pdf		980,82 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar