Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/236532Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Оджаев, В. Б. | - |
| dc.contributor.author | Панфиленко, А. К. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. С. | - |
| dc.contributor.author | Соловьев, Я. А. | - |
| dc.contributor.author | Филипеня, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Челядинский, А. Р. | - |
| dc.contributor.author | Черный, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Шестовский, Д. В. | - |
| dc.contributor.author | Шпаковский, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-12-20T15:11:20Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-20T15:11:20Z | - |
| dc.date.issued | 2019 | - |
| dc.identifier.citation | Приборостроение-2019 : материалы 12-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2019 года, Минск, Республика Беларусь / редкол.: О. К. Гусев (председатель) [и др.]. — Минск : БНТУ, 2019. — С. 345—346. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-583-476-3 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/236532 | - |
| dc.description.abstract | В работе исследовалась возможность применения азотирования подзатворного окисла методом ионной имплантации (ИИ) с целью определения оптимальных режимов ИИ азота, окисления и отжига для получения силовых МОП-транзисторов с улучшенными характеристиками. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : БНТУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение | ru |
| dc.title | Влияние ионной имплантации азота на эксплуатационные параметры силовых МОП-транзисторов | ru |
| dc.type | article | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| P.345-346.pdf | 980,82 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.