Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/344242| Заглавие документа: | Ионная имплантация диазохинонноволачного фоторезиста |
| Авторы: | Бринкевич, Д.И. Бринкевич, С.Д. Просолович, В.С. |
| Цифровой идентификатор автора ORCID: | 0000-0003-1661-5272 |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Российская академия наук, Институт физической химии и электрохимии им. А.Н. Фрумкина РАН |
| Библиографическое описание источника: | Химия высоких энергий.2022; 56(4): С. 284-292. |
| Аннотация: | Методами ИК-Фурье спектроскопии нарушенного полного внутреннего отражения, индентирования и измерения спектров отражения исследованы процессы модификации структурных и оптических свойств пленок диазохинонноволачных фоторезистов марок ФП9120 и S1813 на пластинах монокристаллического кремния за областью пробега ионов при имплантации легкими В+, Р+ и тяжелыми ионами Sb+. Показано, что при имплантации легких ионов В+ и Р+ доминирующими являются процессы с участием фоточувствительной компоненты ФР – нафтохинондиазида, которые приводят к образованию кетена и последующим реакциям с его участием. При имплантации тяжелых ионов Sb+ радиационно-индуцированные реакции за слоем внедрения протекают преимущественно с участием макромолекул основного компонента ФР – фенолформальдегидной смолы. Установленные различия обусловлены преобладающим влиянием электронного механизма торможения для легких ионов и ядерного механизма торможения для тяжелых ионов. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/344242 |
| DOI документа: | 10.31857/S0023119322040052 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| VysEn2204005Brinkevich.pdf | 303,84 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.