Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2013 | Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТО | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В. |
| 2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2002 | Перераспределение элементного состава и изменение структуры в плёнках Си-С60 при отжиге | Шпилевский, Э. М.; Баран, Л. В.; Пилипенко, В. А.; Ухов, В. А. |
| 1998 | Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработки | Пономарь, В. Н.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И. |
| 2017 | Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2021 | Проект «Цифровой бейдж»: обоснование замысла | Антонов, М. П.; Пилипенко, В. А.; Королева, Е. Н. |
| 2023 | Распределение эрбия по толщине золь-гель пленок титаната бария | Стаськов, Н. И.; Лашковская, Е. И.; Гапоненко, Н. В.; Корнилова, Ю. Д.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Чудаков, Е. А.; Сотский, А. Б.; Сотская, Л. И.; Бойко, А. А.; Семченко, А. В. |
| 2013 | Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В. |
| 2017 | Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработки | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
| 2013 | Структурные и физико-химические свойства многослойных омических контактов к n+-кремнию | Беляев, А. Е.; Пилипенко, В. А.; Анищик, В. М. |
| 1998 | Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработки | Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.; Янченко, А. М. |
| 2023 | Формирование границы раздела алюминий – поликремний при воздействии длительного и быстрого термических отжигов | Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Анищик, В. М.; Понарядов, В. В. |
| 2003 | Формирование ионнолегированных слоев в поликремнии c применением быстрой термообработки | Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А. |
| 2020 | Формирование полупроводниковых приборов с диодами Шоттки с использованием быстрой термообработки | Соловьёв, Я. А.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Жигулин, Д. В.; Ацецкая, Е. С.; Сарычев, О. Э. |
| 2019 | Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремний | Солодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А. |
| 2021 | Электролюминесценция пленок SiO2 на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением | Романов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А. |
| 2021 | Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением | Романов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А. |
| 2019 | Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |