Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48560
Title: Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки
Authors: Горушко, В. А.
Пилипенко, В. А.
Понарядов, В. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2013
Abstract: Проведен расчет равномерности нагрева кремниевых пластин по ее площади в камере установки быстрой термической обработки (БТО). Показано, что отклонение температуры от среднего значения не зависит от времени и является одинаковым как в начале, так и в конце БТО световыми импульсами секундной длительности, совпадая с неравномерностью светового потока по площади пластины.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/48560
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Горушко.pdf227,73 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.