Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48560| Title: | Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки |
| Authors: | Горушко, В. А. Пилипенко, В. А. Понарядов, В. В. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2013 |
| Abstract: | Проведен расчет равномерности нагрева кремниевых пластин по ее площади в камере установки быстрой термической обработки (БТО). Показано, что отклонение температуры от среднего значения не зависит от времени и является одинаковым как в начале, так и в конце БТО световыми импульсами секундной длительности, совпадая с неравномерностью светового потока по площади пластины. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48560 |
| Appears in Collections: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Горушко.pdf | 227,73 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.