Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/48560
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГорушко, В. А.-
dc.contributor.authorПилипенко, В. А.-
dc.contributor.authorПонарядов, В. В.-
dc.date.accessioned2013-10-09T12:12:45Z-
dc.date.available2013-10-09T12:12:45Z-
dc.date.issued2013-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/48560-
dc.description.abstractПроведен расчет равномерности нагрева кремниевых пластин по ее площади в камере установки быстрой термической обработки (БТО). Показано, что отклонение температуры от среднего значения не зависит от времени и является одинаковым как в начале, так и в конце БТО световыми импульсами секундной длительности, совпадая с неравномерностью светового потока по площади пластины.ru
dc.language.isoruru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleРасчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработкиru
dc.typeOtherru
Appears in Collections:2013. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Горушко.pdf227,73 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.