Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/48560| Заглавие документа: | Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки |
| Авторы: | Горушко, В. А. Пилипенко, В. А. Понарядов, В. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2013 |
| Аннотация: | Проведен расчет равномерности нагрева кремниевых пластин по ее площади в камере установки быстрой термической обработки (БТО). Показано, что отклонение температуры от среднего значения не зависит от времени и является одинаковым как в начале, так и в конце БТО световыми импульсами секундной длительности, совпадая с неравномерностью светового потока по площади пластины. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/48560 |
| Располагается в коллекциях: | 2013. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Горушко.pdf | 227,73 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.