Структурные и физико-химические свойства многослойных омических контактов к n+-кремнию

Abstract

Экспериментально исследованы межфазные взаимодействия в омических контактах Au-Pt-Ti-Pd-n+Si и Au-Pt-Pd-n+Si и сколы контактной металлизации до и после термообработок при 400 и 450°С в течение 10 минут в вакууме 10-6 Торр. Показано, что по сравнению с исходным и прошедшим термообработку при Т=400°С контактами обоих типов, после термообработки при Т=450°С в них нарушается слоевая структура контактной металлизации, а на сколах возникает наноразмерная столбчатая структура, компоненты которой содержат в своем составе Pt, Au и Si. Такая конфигурация омических контактов обуславливает в них металлическую проводимость.