Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/49733| Title: | Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге |
| Authors: | Васильев, Ю. Б. Плебанович, В. И. Оджаев, В. Б. Садовский, П. К. Челядинский, А. Р. Гайдук, П. И. Прокопьев, С. Л. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2010 |
| Publisher: | Издательский центр БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники: сб. науч. тр. IV Междунар. науч. конф., Минск, 23–24 окт. 2010 г. / редкол.: В.Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.].— Мн.: БГУ, 2010. С. 156-160. |
| Abstract: | В данной работе исследовалось влияния режимов промежуточных быстрых термических отжигов (БТО) на образование остаточных нарушений в легированных слоях кремния, созданных пошаговой имплантацией ионов бора. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/49733 |
| ISBN: | 978-985-476-885-4 |
| Appears in Collections: | 2010. Материалы и структуры современной электроники |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Ю.Б. Васильев, В.И. Плебанович, В.Б. Оджаев, П.К. Садовский, А.Р. Челядинский, П.И. Гайдук, С.Л. Прокопьев.pdf | 545,96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.