Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/345022
Title: Кислородные преципитаты и формирование термодоноров в кремнии
Authors: Вабищевич, Н.В.
Бринкевич, Д.И.
Просолович, D/C/
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 1998
Publisher: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
Citation: Физика и техника полупроводников.1998; Т. 32(6): С. 712-713
Abstract: Методами инфракрасной спектроскопии и измерений эффекта Холла установлено, что формирующиеся в процессе предварительной высокотемпературной обработки кислородные преципитаты подавляют генерацию термодоноров в Si, выращенном как методом Чохральского, так и путем наложения на расплав магнитного поля. Предложены возможные механизмы влияния преципитации на формирование термодоноров.
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/345022
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
34358.pdf62,57 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.