Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/345022
Заглавие документа: Кислородные преципитаты и формирование термодоноров в кремнии
Авторы: Вабищевич, Н.В.
Бринкевич, Д.И.
Просолович, D/C/
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Дата публикации: 1998
Издатель: Физико-технический институт им. А.Ф.Иоффе Российской академии наук
Библиографическое описание источника: Физика и техника полупроводников.1998; Т. 32(6): С. 712-713
Аннотация: Методами инфракрасной спектроскопии и измерений эффекта Холла установлено, что формирующиеся в процессе предварительной высокотемпературной обработки кислородные преципитаты подавляют генерацию термодоноров в Si, выращенном как методом Чохральского, так и путем наложения на расплав магнитного поля. Предложены возможные механизмы влияния преципитации на формирование термодоноров.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/345022
Лицензия: info:eu-repo/semantics/openAccess
Располагается в коллекциях:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
34358.pdf62,57 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.