Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/324423| Title: | ИК-Фурье-спектроскопия нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида на пластинах монокристаллического кремния |
| Authors: | Просолович, В. С. Бринкевич, Д. И. Гринюк, Е. В. Бринкевич, С. Д. Колос, В. В. Зубова, О. А. Ластовский, С. Б. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2024 |
| Citation: | Журнал прикладной спектроскопии. - 2024. - Т. 91, № 2. - С. 221-226 |
| Abstract: | Исследованы спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок полиимида PI2610, сформированных на пластинах монокристаллического кремния методом центрифугирования. Облучение электронами с энергией 5 МэВ проведено на линейном ускорителе в интервале доз 1 - 1014—2 - 1015 cм–2. Наиболее интенсивными в спектре полиимидных пленок PI2610 являются полосы колебаний связи C-N-Cst имидного цикла (1349 см–1), колебаний ароматического кольца (1517 см–1), валентных колебаний группы C=Ostr имидного цикла (1700 см–1) и валентных колебаний С-С-связи в СО-Сst-группе (1074 см–1), а также полосы деформационных колебаний С-Н-связей с максимумами при 734 и 828 см–1. При начальной дозе 1 - 1014 cм–2 наблюдалось изменение спектральной формы и интенсивности полос с максимумами при 1700 и 1349 см–1, соответствующих колебаниям С=О-и C=N-Cstr-групп. Предполагается, что это обусловлено релаксацией метастабильных состояний указанных групп. При дозе 2 - 1015 cм–2 обнаружено уменьшение интенсивности полос, соответствующих асимметричным и симметричным валентным колебаниям С-Н2-связей. Интенсивность полос нарушенного полного внутреннего отражения, обусловленных колебаниями С=О- и С-N-связей ароматических и имидных циклов, практически не изменялась. |
| Abstract (in another language): | The spectra of attenuated total reflection of polyimide PI-2610 films deposited on single-crystal silicon wafers by centrifugation are studied. The films were irradiated by electrons with energy of 5 MeV on a linear electron accelerator at doses of 1 - 1014–2 - 1015 cm–2. The most intense in the spectrum of PI-2610 polyimide films are the C-N-Cst vibration bands of the imide ring (1349 cm–1), aromatic ring vibrations (1517 cm–1), C=Ostr stretching vibrations of the imide ring group (1700 cm–1), and stretching vibrations of C-C bonds in the CO-Cst group (1074 cm–1), as well as bands of bending vibrations of C-H bonds with maxima at 734 and 828 cm–1. At an initial dose of 1 - 1014 cm–2, a change in the spectral shape and intensity of the bands with maxima at 1700 and 1349 cm–1, caused by vibrations of the C=0 and C=N-Cstr groups, was observed. It is assumed that this is due to the relaxation of the metastable states of these groups. At a dose of 2 - 1015 cm–2, a decrease in the intensity of bands caused by asymmetric and symmetric stretching vibrations of C-H2 bonds was detected. The intensity of the ATR bands caused by vibrations of C=O and C-N bonds, aromatic and imide rings remained practically unchanged. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/324423 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| ЖПС2024_2.pdf | 508,76 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.