Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/306976
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorГорбачук, Н. И.-
dc.contributor.authorПоклонский, Н. А.-
dc.contributor.authorЕрмакова, Е. А.-
dc.contributor.authorШпаковский, С. В.-
dc.date.accessioned2023-12-20T14:26:49Z-
dc.date.available2023-12-20T14:26:49Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationАктуальные проблемы физики твердого тела: cб. тез. X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 г. / ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»; редкол.: В.М. Федосюк (пред.) [и др.]. – Минск: А.Н. Вараксин, 2023. – С. 287ru
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/306976-
dc.language.isoruru
dc.publisherМинск : А.Н. Вараксинru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleИмпеданс дефектных слоев кремния, сформированных в структурах Al/SiO2/n-Si облучением высокоэнергетичными ионами гелияru
dc.typeconference abstractru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
Располагается в коллекциях:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
APFTT287.pdf1,21 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.