Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/306976
Title: Импеданс дефектных слоев кремния, сформированных в структурах Al/SiO2/n-Si облучением высокоэнергетичными ионами гелия
Authors: Горбачук, Н. И.
Поклонский, Н. А.
Ермакова, Е. А.
Шпаковский, С. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2023
Publisher: Минск : А.Н. Вараксин
Citation: Актуальные проблемы физики твердого тела: cб. тез. X Междунар. науч. конф., Минск, 22–26 мая 2023 г. / ГО «НПЦ НАН Беларуси по материаловедению»; редкол.: В.М. Федосюк (пред.) [и др.]. – Минск: А.Н. Вараксин, 2023. – С. 287
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/306976
Licence: info:eu-repo/semantics/openAccess
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
APFTT287.pdf1,21 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.