Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/306921| Title: | DLTS-спектроскопия радиационных дефектов в облученных ионами гелия структурах Al/Si3N4/n-Si |
| Authors: | Горбачук, Н. И. Поклонский, Н. А. Ермакова, Е. А. Шпаковский, С. В. Ломако, В. М. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Publisher: | Минск : НИИПФП им. А.Н. Севченко БГУ |
| Citation: | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния: матер. 7-й Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 18–19 мая 2023 г. / НИИПФП им. А.Н. Севченко БГУ; редкол.: Ю.И. Дудчик (гл. ред.) [и др.]. – Минск, 2023. – С. 272–274 |
| Abstract: | Исследовались структуры Al/Si3N4/n-Si, облученные ионами гелия флюенсом 10^11 см^−2 (кинетическая энергия иона 5 МэВ). Регистрировались спектры DLTS, т.е. зависимости емкости от температуры, а также изотермические вольт-фарадные характеристики. Установлено, что варьирование электрического напряжения заполнения и напряжения эмиссии позволяет независимо регистрировать сигналы DLTS как от центров, локализованных на границе раздела Si3N4/n-Si, так и от радиационных дефектов в глубине кремния. Показано, что облучение ионами гелия приводит как к генерации дивакансий и комплексов вакансия-кислород и вакансия-фосфор, так и к увеличению концентрации дефектов на границе раздела. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/306921 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при поддержке ГПНИ «Материаловедение, новые материалы и технологии». |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| NIIPFP272-274.pdf | 1,36 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.