Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/253677| Title: | Радиационно-стимулированная трансформация спектров отражения пленок диазохинон-новолачного фоторезиста при имплантации ионов сурьмы |
| Authors: | Харченко, А. А. Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Бринкевич, С. Д. Оджаев, В. Б. Янковский, Ю. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Issue Date: | 2020 |
| Publisher: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука" |
| Citation: | Поверхность. Рентген., синхротр. и нейтрон. исслед. – 2020. – № 6. – С.14–18. |
| Abstract: | Измерением спектров отражения исследованы имплантированные ионами сурьмы пленки фоторезиста ФП9120 толщиной 1.8 мкм, нанесенные методом центрифугирования на поверхность пластин кремния р-типа (ρ = 10 Ом см) с ориентацией (111). Показано, что имплантация приводит к уменьшению показателя преломления фоторезиста, обусловленному радиационным сшиванием молекул новолачной смолы, а также снижением молекулярной рефракции и плотности фоторезиста. В области непрозрачности фоторезистивной пленки при увеличении дозы имплантации наблюдается рост коэффициента отражения. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/253677 |
| ISSN: | 1028-0960 (print) |
| DOI: | 10.31857/S1028096020060084 |
| Appears in Collections: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Харченко_Бринкевич_Просолович.pdf | 48,54 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.