Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/253612
Title: Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта
Authors: Базаров, В. В.
Бумай, Ю. А.
Валеев, В. Ф.
Головчук, В. И.
Лукашевич, М. Г.
Нуждин, В. И.
Оджаев, В. Б.
Харченко, А. А.
Хайбуллин, Р. И.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2020
Publisher: ГНУ "Институт физики им. Б.И.Степанова Национальной академии наук Беларуси"
Citation: Журнал прикладной спектроскопии – 2020. – Т. 87, № 3. – С. 476–480
Abstract: Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200-1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2.5×10^16 - 1.5×10^17см^- 2 при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см^2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1.3-2.1.
URI: https://elib.bsu.by/handle/123456789/253612
ISSN: 0514-7506
Appears in Collections:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники

Files in This Item:
There are no files associated with this item.


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.