Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/253612
Заглавие документа: | Модификация оптических характеристик пленок полиамида имплантацией ионов кобальта |
Авторы: | Базаров, В. В. Бумай, Ю. А. Валеев, В. Ф. Головчук, В. И. Лукашевич, М. Г. Нуждин, В. И. Оджаев, В. Б. Харченко, А. А. Хайбуллин, Р. И. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2020 |
Издатель: | ГНУ "Институт физики им. Б.И.Степанова Национальной академии наук Беларуси" |
Библиографическое описание источника: | Журнал прикладной спектроскопии – 2020. – Т. 87, № 3. – С. 476–480 |
Аннотация: | Представлены спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения в диапазоне длин волн 200-1100 нм пленок полиамида толщиной 40 мкм, имплантированных ионами кобальта с энергией 40 кэВ в интервале доз 2.5×10^16 - 1.5×10^17см^- 2 при плотности тока в ионном пучке 4 мкА/см^2. Имплантация приводит к существенному (до 80 %) уменьшению пропускания имплантированными пленками и увеличению отражения как имплантированной, так и неимплантированной стороной вследствие карбонизации приповерхностного слоя и формирования в нем включений кобальта. В рамках двух- и трехслойной моделей, включающих в себя один или два модифицированных слоя и неповрежденную часть пленки, проведено моделирование прохождения света при падении на имплантированную и неимплантированную стороны и определена дозовая зависимость эффективного показателя преломления модифицированного слоя, который в исследуемом интервале доз изменяется в пределах 1.3-2.1. |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/253612 |
ISSN: | 0514-7506 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи) |
Полный текст документа:
Нет файлов, ассоциированных с этим документом.
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.