Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
Issue Date Author Title Subject

Browsing by Author Солодуха, В. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

or enter first few letters:  
Showing results 1 to 20 of 21  next >
PreviewIssue DateTitleAuthor(s)
2018Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисленияАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2021Влияние быстрой термической обработки на оптические характеристики кремнияПилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Омельченко, А. А.; Анищик, В. М.; Понарядов, В. В.
2022Влияние термической нагрузки при формировании контактов Al-Al на электрические параметры интегральных микросхем с контактами алюминий-поликремнийПилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Соловьёв, Я. А.; Шестовский, Д. В.; Жигулин, Д. В.
2022Влияние уровня легирования и ретикулярной плотности исходных кремниевых пластин на их оптические характеристики после быстрой термообработкиОмельченко, А. А.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.
2022Зарядовые свойства тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом быстрой термообработкиКовальчук, Н. С.; Марудо, Ю. А.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Анищик, В. М.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В.
2021Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработкиАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.; Омельченко, А. А.
2022Исследования электрофизических свойств тонких подзатворных диэлектриков, полученных методом многостадийного быстрого термического отжигаКовальчук, Н. С.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Демидович, С. А.; Колос, В. В.; Филипеня, В. А.; Шестовский, Д. В.
2011Моделирование технологических процессов субмикронной электроникиКомаров, Ф. Ф.; Комаров, А. Ф.; Миронов, А. М.; Заяц, Г. М.; Солодуха, В. А.; Макаревич, Ю. В.; Мискевич, С. А.
2017Особенности возникновения структурных дефектов в сильнолегированном Si при диффузии фосфораБеляев, А. Е.; Болтовец, Н. С.; Конакова, Р. В.; Кладько, В. П.; Любченко, О. И.; Саченко, А. В.; Сафрюк, Н. В.; Шинкаренко, В. В.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Ходин, А. А.; Романец, П. Н.; Кудрик, Я. Я.
2018Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработкеСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.
2015Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработкеГорушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.
2019Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрикаАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2017Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнииАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2017Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработкиПилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А.
2015УПРАВЛЯЕМАЯ ТРАНСФОРМАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ БИПОЛЯРНЫХ МОЩНЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ ИОННЫМИ ПУЧКАМИСолодуха, В. А.; Снитовский, Ю. П.
2012ФОРМИРОВАНИЕ БАРЬЕРОВ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ СИЛИЦИДНОГО НИКЕЛЬ-ПЛАТИНОВОГО СПЛАВАСолодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Ковалева, Т. Б.
2020Формирование полупроводниковых приборов с диодами Шоттки с использованием быстрой термообработкиСоловьёв, Я. А.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Жигулин, Д. В.; Ацецкая, Е. С.; Сарычев, О. Э.
2019Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремнийСолодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А.
2021Электролюминесценция пленок SiO2 на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждениемРоманов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А.
2021Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждениемРоманов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А.
Showing results 1 to 20 of 21  next >