Влияние быстрой термической обработки на оптические характеристики кремния

Abstract

Проведены исследования влияния быстрой термической обработки на оптические характеристики кремния в области Г-точки зоны проводимости в зависимости от типа проводимости кремниевых пластин, уровня их легирования, ковалентного радиуса легирующих примесей, а также ориентации поверхности пластины. Показано, что механическая шлифовка и полировка поверхности кремниевых пластин приводит к формированию на ней нарушенного слоя, изменяющего поверхностный деформационный потенциал и вызывающего изменение оптических характеристик поверхности кремния, наиболее проявляющееся в спектральной области расположения Г-точки зоны проводимости. Установлено, что проведение БТО образцов кремния с высокой концентрацией бора приводит к более значительному уменьшению коэффициента преломления и поглощения, из-за более значительного обеднения поверхности кремния бором в результате диффузионных процессов на границе кремний-двуокись кремния, чем в случае кремния с низкой его концентрацией