Logo BSU

Просмотр Авторы Плебанович, В. И.

Перейти: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

или введите несколько первых символов:  
Результаты 1 - 12 из 12
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2012БЕЗМАСОЧНАЯ ЛИТОГРАФИЯ В ПРОИЗВОДСТВЕ СУБМИКРОННЫХ ИЗДЕЛИЙПлебанович, В. И.
2018Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнииОджаев, В. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Тарасик, М. И.; Челядинский, А. Р.
2008Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремнияНаливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И.
2010ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В ПЛАСТИНАХ БЕЗДИСЛОКАЦИОННОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ПОДВЕРГНУТЫХ БЫСТРОМУ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМУ ОТЖИГУПросолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Васильев, Ю. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Простомолотов, А. И.; Верезуб, Н. А.; Меженный, М. В.; Резник, В. Я.
мая-2006Локализация импланти­руемых примесей бора и углерода в кремнииПлебанович, В. И.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б.
2017О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнииОджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Тарасик, М. И.; Челядинский, А. Р.
2008Поведение примесей сурьмы и фосфора в имплантированном кремнииБелоус, А. И.; Васильев, Ю. Б.; Емельянов, В. А.; Оджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.
2010Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжигеВасильев, Ю. Б.; Плебанович, В. И.; Оджаев, В. Б.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Гайдук, П. И.; Прокопьев, С. Л.
2022Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремнияНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Плебанович, В. И.; Гайдук, П. И.
2007Совместная с ионами BF2+ имплантация углерода при создании Р+-N-переходов в кремнииМильчанин, О. В.; Комаров, Ф. Ф.; Плебанович, В. И.; Комаров, А. Ф.
2008Токи утечки в p-n-переходах интегральных схем, изготовленных пошаговым методом ионного легированияПлебанович, В. И.; Оджаев, В. Б.; Васильев, Ю. Б.; Явид, В. Ю.; Челядинский, А. Р.
2003Физико-химические свойства тонких пленок термического диоксида кремния, подвергнутого ионному облучениюГранько, С. В.; Емельянов, В. А.; Кисель, А. М.; Леонтьев, А. В.; Медведева, А. В.; Плебанович, В. И.