Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/223679| Заглавие документа: | Совместная с ионами BF2+ имплантация углерода при создании Р+-N-переходов в кремнии |
| Авторы: | Мильчанин, О. В. Комаров, Ф. Ф. Плебанович, В. И. Комаров, А. Ф. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2007 |
| Издатель: | Минск : Изд. центр БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 208-210. |
| Аннотация: | Использованы режимы совместной с ионами BF2+ имплантации углерода и ступенчатых термообработок (в том числе режим быстрого термического отжига) для минимизации эффекта неравновесной ускоренной диффузии атомов бора в кремнии. Совместная с ионами BF2+ имплантация ионов С+ позволяет уменьшить глубину залегания формируемого при последующей термообработке р+-n перехода на ~ 70 нм. Использование режима быстрого термического отжига приводит к улучшению параметров формируемых мелких р+-n переходов в кремнии; увеличение поверхностной концентрации электрически активной примеси, увеличение степени активации легирующей примеси, снижение слоевого сопротивления. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/223679 |
| ISBN: | 978-985-476-530-3 |
| Располагается в коллекциях: | 2007. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 208-210.pdf | 599,61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.