Совместная с ионами BF2+ имплантация углерода при создании Р+-N-переходов в кремнии

Мильчанин, О. В.; Комаров, Ф. Ф.; Плебанович, В. И.; Комаров, А. Ф.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/223679

Title:	Совместная с ионами BF2+ имплантация углерода при создании Р+-N-переходов в кремнии
Authors:	Мильчанин, О. В. Комаров, Ф. Ф. Плебанович, В. И. Комаров, А. Ф.
Keywords:	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date:	2007
Publisher:	Минск : Изд. центр БГУ
Citation:	Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of radiation witli solids : материалы 7-й Междунар. конф., Минск, 26-28 сент. 2007 г. / редкол. В. М. Анищик (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2007. — С. 208-210.
Abstract:	Использованы режимы совместной с ионами BF2+ имплантации углерода и ступенчатых термообработок (в том числе режим быстрого термического отжига) для минимизации эффекта неравновесной ускоренной диффузии атомов бора в кремнии. Совместная с ионами BF2+ имплантация ионов С+ позволяет уменьшить глубину залегания формируемого при последующей термообработке р+-n перехода на ~ 70 нм. Использование режима быстрого термического отжига приводит к улучшению параметров формируемых мелких р+-n переходов в кремнии; увеличение поверхностной концентрации электрически активной примеси, увеличение степени активации легирующей примеси, снижение слоевого сопротивления.
URI:	http://elib.bsu.by/handle/123456789/223679
ISBN:	978-985-476-530-3
Appears in Collections:	2007. Взаимодействие излучений с твердым телом

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
208-210.pdf		599,61 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar