Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/208223| Title: | Физико-химические свойства тонких пленок термического диоксида кремния, подвергнутого ионному облучению |
| Other Titles: | Physical and chemical propertyes of the thermal thin SiO2 films irradiated with ion beams / S.V. Gran'ko, V.A. Emelyanov, A.M. Kisel, A.V. Leontyev, A.V. Medvedyeva, V I. Plebanovich |
| Authors: | Гранько, С. В. Емельянов, В. А. Кисель, А. М. Леонтьев, А. В. Медведева, А. В. Плебанович, В. И. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2003 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 234-236. |
| Abstract: | Представлены результаты исследования влияния ионного облучения на физико-химические свойства термически выращенного оксида кремния. Показано, что скорость травления SiO2 зависит от условий ионной бомбардировки, подобраны оптимальные условия ионной обработки для БиКМОП-технологического процесса. |
| Abstract (in another language): | The physical and chemical properties of the thermal thin SiO2 films irradiated with ion beams are discussed |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/208223 |
| ISBN: | 985-445-236-0; 985-445-235-2 |
| Appears in Collections: | 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 234-236.pdf | 2,79 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.