Физико-химические свойства тонких пленок термического диоксида кремния, подвергнутого ионному облучению

Гранько, С. В.; Емельянов, В. А.; Кисель, А. М.; Леонтьев, А. В.; Медведева, А. В.; Плебанович, В. И.

Даты публикации Авторы Заглавия Темы

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/208223

Полная запись метаданных

Поле DC	Значение	Язык
dc.contributor.author	Гранько, С. В.	-
dc.contributor.author	Емельянов, В. А.	-
dc.contributor.author	Кисель, А. М.	-
dc.contributor.author	Леонтьев, А. В.	-
dc.contributor.author	Медведева, А. В.	-
dc.contributor.author	Плебанович, В. И.	-
dc.date.accessioned	2018-11-06T06:15:31Z	-
dc.date.available	2018-11-06T06:15:31Z	-
dc.date.issued	2003	-
dc.identifier.citation	Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 234-236.	ru
dc.identifier.isbn	985-445-236-0; 985-445-235-2	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/208223	-
dc.description.abstract	Представлены результаты исследования влияния ионного облучения на физико-химические свойства термически выращенного оксида кремния. Показано, что скорость травления SiO2 зависит от условий ионной бомбардировки, подобраны оптимальные условия ионной обработки для БиКМОП-технологического процесса.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	Минск : БГУ	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Физико-химические свойства тонких пленок термического диоксида кремния, подвергнутого ионному облучению	ru
dc.title.alternative	Physical and chemical propertyes of the thermal thin SiO2 films irradiated with ion beams / S.V. Gran'ko, V.A. Emelyanov, A.M. Kisel, A.V. Leontyev, A.V. Medvedyeva, V I. Plebanovich	ru
dc.type	conference paper	ru
dc.description.alternative	The physical and chemical properties of the thermal thin SiO2 films irradiated with ion beams are discussed	ru
Располагается в коллекциях:	2003. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:

Файл	Описание	Размер	Формат
234-236.pdf		2,79 MB	Adobe PDF	Открыть

Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar

Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.