Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2012 | БЕЗМАСОЧНАЯ ЛИТОГРАФИЯ В ПРОИЗВОДСТВЕ СУБМИКРОННЫХ ИЗДЕЛИЙ | Плебанович, В. И. |
| 2018 | Взаимодействие атомов сурьмы с микропорами в кремнии | Оджаев, В. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Тарасик, М. И.; Челядинский, А. Р. |
| 2008 | Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремния | Наливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И. |
| 2010 | ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССОВ ДЕФЕКТООБРАЗОВАНИЯ В ПЛАСТИНАХ БЕЗДИСЛОКАЦИОННОГО МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ, ПОДВЕРГНУТЫХ БЫСТРОМУ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОМУ ОТЖИГУ | Просолович, В. С.; Бринкевич, Д. И.; Янковский, Ю. Н.; Васильев, Ю. Б.; Петлицкий, А. Н.; Плебанович, В. И.; Простомолотов, А. И.; Верезуб, Н. А.; Меженный, М. В.; Резник, В. Я. |
| мая-2006 | Локализация имплантируемых примесей бора и углерода в кремнии | Плебанович, В. И.; Челядинский, А. Р.; Оджаев, В. Б. |
| 2017 | О влиянии упругих напряжений на диффузию бора в кремнии | Оджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Тарасик, М. И.; Челядинский, А. Р. |
| 2008 | Поведение примесей сурьмы и фосфора в имплантированном кремнии | Белоус, А. И.; Васильев, Ю. Б.; Емельянов, В. А.; Оджаев, В. Б.; Плебанович, В. И.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р. |
| 2010 | Пошаговый метод имплантации кремния ионами бора при быстром термическом отжиге | Васильев, Ю. Б.; Плебанович, В. И.; Оджаев, В. Б.; Садовский, П. К.; Челядинский, А. Р.; Гайдук, П. И.; Прокопьев, С. Л. |
| 2022 | Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремния | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Плебанович, В. И.; Гайдук, П. И. |
| 2007 | Совместная с ионами BF2+ имплантация углерода при создании Р+-N-переходов в кремнии | Мильчанин, О. В.; Комаров, Ф. Ф.; Плебанович, В. И.; Комаров, А. Ф. |
| 2008 | Токи утечки в p-n-переходах интегральных схем, изготовленных пошаговым методом ионного легирования | Плебанович, В. И.; Оджаев, В. Б.; Васильев, Ю. Б.; Явид, В. Ю.; Челядинский, А. Р. |
| 2003 | Физико-химические свойства тонких пленок термического диоксида кремния, подвергнутого ионному облучению | Гранько, С. В.; Емельянов, В. А.; Кисель, А. М.; Леонтьев, А. В.; Медведева, А. В.; Плебанович, В. И. |