Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329603| Title: | Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок |
| Other Titles: | Surface morphology, optical and electrophysical properties of piezoceramic films / N. A. Bosak, M. V. Bushinsky, A. N. Chobot, L. V. Baran, V. V. Malyutina-Bronskaya, I. A. Taratyn |
| Authors: | Босак, Н. А. Бушинский, М. В. Чобот, А. Н. Баран, Л. В. Малютина-Бронская, В. В. Таратын, И. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Минск : БГУ |
| Citation: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 31-36. |
| Abstract: | Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 10–12 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны λ = 1,064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см2 на пьезокерамику ЦТС-19 (цирконат-титанат свинца) при давлении в вакуумной камере p = 2,2×10−2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. Изучена морфология поверхности тонких пьезокермических пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-области. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке |
| Abstract (in another language): | By the method of high-frequency repetitively pulsed f ~ 10–12 kHz laser radiation with a wavelength λ = 1.064 μm and a power density q = 33 MW/cm2 on the piezoceramics PZT-19 target at a pressure in the vacuum chamber p = 2.2×10−2 mm Hg Art nanostructured thin films on a silicon and glass substrates have been obtained. The morphology of thin piezoceramics films was studied using atomic force microscopy. Transmission spectra of the PZT films in the visible, near and mid-IR regions were investigated. The electrophysical characteristics of piezoceramics structure on a silicon substrate was carried out |
| Description: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329603 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.