Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/329603| Заглавие документа: | Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пьезокерамических пленок |
| Другое заглавие: | Surface morphology, optical and electrophysical properties of piezoceramic films / N. A. Bosak, M. V. Bushinsky, A. N. Chobot, L. V. Baran, V. V. Malyutina-Bronskaya, I. A. Taratyn |
| Авторы: | Босак, Н. А. Бушинский, М. В. Чобот, А. Н. Баран, Л. В. Малютина-Бронская, В. В. Таратын, И. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы XI Междунар. науч. конф., Минск, 16–18 окт. 2024 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2025. – С. 31-36. |
| Аннотация: | Методом высокочастотного импульсно-периодического f ~ 10–12 кГц воздействия лазерного излучения с длиной волны λ = 1,064 мкм и плотностью мощности q = 33 МВт/см2 на пьезокерамику ЦТС-19 (цирконат-титанат свинца) при давлении в вакуумной камере p = 2,2×10−2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой и стеклянной подложках. Изучена морфология поверхности тонких пьезокермических пленок с помощью атомно-силовой микроскопии. Исследованы спектры пропускания пленок в видимой, ближней и средней ИК-области. Проведен анализ электрофизических свойств структуры ЦТС-19/Si на кремниевой подложке |
| Аннотация (на другом языке): | By the method of high-frequency repetitively pulsed f ~ 10–12 kHz laser radiation with a wavelength λ = 1.064 μm and a power density q = 33 MW/cm2 on the piezoceramics PZT-19 target at a pressure in the vacuum chamber p = 2.2×10−2 mm Hg Art nanostructured thin films on a silicon and glass substrates have been obtained. The morphology of thin piezoceramics films was studied using atomic force microscopy. Transmission spectra of the PZT films in the visible, near and mid-IR regions were investigated. The electrophysical characteristics of piezoceramics structure on a silicon substrate was carried out |
| Доп. сведения: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/329603 |
| ISBN: | 978-985-881-739-8 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2024. Материалы и структуры современной электроники |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.