Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/324369
Заглавие документа: Влияние температуры окислительного отжига на структурные и оптические характеристики пленок оксидов олова
Другое заглавие: Effect of the oxidative annealing temperature on the structural and optical characteristics of tin oxide films
Авторы: Ксеневич, В. К.
Доросинец, В. А.
Самарина, М. А.
Адамчук, Д. В.
Абдурахманов, Г.
Liu, H.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2024
Издатель: Springer
Библиографическое описание источника: Журн. прикл. спектроск. – 2024. – Т. 91, № 6. – С. 813–820. [J. Appl. Spectrosc. – 2025. – Vol. 91, № 6. – P. 1233–1239.]
Аннотация: Исследованы кристаллическая структура и оптические характеристики неупорядоченных пленок оксидов олова, синтезированных методом магнетронного распыления мишени олова на стеклянные подложки с последующим двухстадийным отжигом на воздухе. Анализ микроструктуры пленок оксидов олова проведен методом рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рас сеяния света. Измерены спектры пропускания образцов в диапазоне длин волн λ = 200—3000 нм. С помощью конвертного метода определены оптические константы (показатель преломления n(λ), коэффициент поглощения α(λ)) тонких пленок оксидов олова в зависимости от длины волны. Показана возможность получения пленок оксидов олова с управляемо варьируемыми оптическими пара метрами (коэффициент поглощения α до 82 % в видимом диапазоне электромагнитного спектра, показатель преломления n = 2—2.6, оптическая щель Тауца в диапазоне 2.62—3.46 эВ) посредством изменения температуры на второй стадии окислительного отжига в диапазоне 325—475 °С.
Аннотация (на другом языке): Results are given for a study of the crystal structure and optical characteristics of disordered tin oxide films. The synthesis of these films was carried out by means of magnetron sputtering of a tin target on a glass substrate followed by two-stage annealing in the air. The microstructure of the tin oxide films was analyzed by x-ray diffraction and Raman spectroscopy. Transmission spectra of the samples were taken in the wavelength range λ = 200–3000 nm. The optical constants of the thin tin oxide films, namely, the refractive index n and absorption coefficient α, relative to wavelength were determined using the envelope method. Feasibility was shown for the preparation of tin oxide films with control of the optical parameters (absorption coefficient α up to 82% in the visible range of the electromagnetic spectrum, refractive index n in the range 2–2.6, and Tauc optical gap in the range 2.62–3.46 eV) by adjusting the temperature in the second stage of the oxidative annealing process in the range 325–475 °C.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/324369
ISSN: 0514-7506
DOI документа: 10.1007/s10812-025-01842-z
Финансовая поддержка: Авторы выражают благодарность С. В. Злоцкому и В. И. Шиманскому за проведение рентгеноструктурных измерений образцов, а также О. В. Королик за измерения КР-спектров пленок. Работа выполнена в рамках проекта Белорусского республиканского фонда фундаментальных исследований “Материаловедение, новые материалы и технологии” № Ф22УЗБ-056, задания ГПНИ 2.14 (НИР 3), поддержана фондом на проведение исследований в рамках международного сотрудничества Объединенного института и инновационного центра Белорусского государственного университета (Далянь, Китай)–БГУ (Минск, Беларусь) (грант ICR2202). [The authors express their gratitude to S. V. Zlotskii and V. I. Shimanskii for carrying out the x-ray structural measurements of the samples and to O. V. Korolik for taking the Raman spectra of the films. This work was carried out in the framework of the Materials Science, New Materials and Technology Project of the Belarusian Foundation for Fundamental Research No. F22UZB-056 State Scientific Programs Project 2.14 (NIR 3) and was supported by the International Cooperation Research Fund under the aegis of the Joint Institute and Innovation Center of the Belarusian State University (Dalian, China) and Belarusian State University (Minsk, Belarus) (Grant No. ICR2202)]
Лицензия: info:eu-repo/semantics/openAccess
Располагается в коллекциях:Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
JAS_Ksenevich_May2024.pdf807,08 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.