Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096
Заглавие документа: Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха
Другое заглавие: Study of the processes of deposition of gas-sensitive nano-film resistors from zinc oxides doped with copper during laser sputtering of zinc and copper in an air atmosphere
Авторы: Воропай, Е. С.
Коваленко, М. Н.
Алексеенко, Н. А.
Зажогин, А. П.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2023
Аннотация: Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных оксидами меди, методом абляции сериями сдвоенных лазерных импульсов гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок цинка Ц0 и ме- ди М2 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напы- лен на дорожку шириной 300 мкм, вытравленную в медной фольге. Оценены параметры чув- ствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту.
Аннотация (на другом языке): The possibilities of producing gas-sensitive nanofilm resistors from zinc oxides doped with copper oxides by ablation with a series of double laser pulses of a hybrid target consisting of zinc C0 and copper M2 plates glued together on a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is deposited onto a 300 micron wide track etched in copper foil. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed.
URI документа: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096
Лицензия: info:eu-repo/semantics/restrictedAccess
Располагается в коллекциях:Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
394-398 [Квантовая электроника 2023].pdf1,57 MBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.