Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096| Title: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха |
| Other Titles: | Study of the processes of deposition of gas-sensitive nano-film resistors from zinc oxides doped with copper during laser sputtering of zinc and copper in an air atmosphere |
| Authors: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2023 |
| Abstract: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных оксидами меди, методом абляции сериями сдвоенных лазерных импульсов гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок цинка Ц0 и ме- ди М2 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напы- лен на дорожку шириной 300 мкм, вытравленную в медной фольге. Оценены параметры чув- ствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту. |
| Abstract (in another language): | The possibilities of producing gas-sensitive nanofilm resistors from zinc oxides doped with copper oxides by ablation with a series of double laser pulses of a hybrid target consisting of zinc C0 and copper M2 plates glued together on a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is deposited onto a 300 micron wide track etched in copper foil. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
| Appears in Collections: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 394-398 [Квантовая электроника 2023].pdf | 1,57 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.