Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorВоропай, Е. С.-
dc.contributor.authorКоваленко, М. Н.-
dc.contributor.authorАлексеенко, Н. А.-
dc.contributor.authorЗажогин, А. П.-
dc.date.accessioned2023-11-23T12:51:36Z-
dc.date.available2023-11-23T12:51:36Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.urihttps://elib.bsu.by/handle/123456789/305096-
dc.description.abstractИзучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных оксидами меди, методом абляции сериями сдвоенных лазерных импульсов гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок цинка Ц0 и ме- ди М2 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напы- лен на дорожку шириной 300 мкм, вытравленную в медной фольге. Оценены параметры чув- ствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту.ru
dc.language.isoruru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/restrictedAccessru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.titleИсследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздухаru
dc.title.alternativeStudy of the processes of deposition of gas-sensitive nano-film resistors from zinc oxides doped with copper during laser sputtering of zinc and copper in an air atmosphereru
dc.typeconference paperru
dc.rights.licenseCC BY 4.0ru
dc.description.alternativeThe possibilities of producing gas-sensitive nanofilm resistors from zinc oxides doped with copper oxides by ablation with a series of double laser pulses of a hybrid target consisting of zinc C0 and copper M2 plates glued together on a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is deposited onto a 300 micron wide track etched in copper foil. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed.ru
Располагается в коллекциях:Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
394-398 [Квантовая электроника 2023].pdf1,57 MBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.