Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096
Заглавие документа: | Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха |
Другое заглавие: | Study of the processes of deposition of gas-sensitive nano-film resistors from zinc oxides doped with copper during laser sputtering of zinc and copper in an air atmosphere |
Авторы: | Воропай, Е. С. Коваленко, М. Н. Алексеенко, Н. А. Зажогин, А. П. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2023 |
Аннотация: | Изучены возможности получения газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов цинка, легированных оксидами меди, методом абляции сериями сдвоенных лазерных импульсов гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок цинка Ц0 и ме- ди М2 на подложку из фольгированного стеклотекстолита в атмосфере воздуха. Резистор напы- лен на дорожку шириной 300 мкм, вытравленную в медной фольге. Оценены параметры чув- ствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту. |
Аннотация (на другом языке): | The possibilities of producing gas-sensitive nanofilm resistors from zinc oxides doped with copper oxides by ablation with a series of double laser pulses of a hybrid target consisting of zinc C0 and copper M2 plates glued together on a foil-clad fiberglass substrate in an air atmosphere have been studied. The resistor is deposited onto a 300 micron wide track etched in copper foil. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed. |
URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/305096 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/restrictedAccess |
Располагается в коллекциях: | Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи) |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
394-398 [Квантовая электроника 2023].pdf | 1,57 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.