Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439| Заглавие документа: | Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч |
| Авторы: | Савицкий, Александр Александрович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Дата публикации: | 30-июн-2021 |
| Аннотация: | Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Prog_Savitski_21.PDF | 801,62 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.