Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439| Title: | Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч |
| Authors: | Савицкий, Александр Александрович |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия |
| Issue Date: | 30-Jun-2021 |
| Abstract: | Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. |
| URI: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439 |
| Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Appears in Collections: | Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Prog_Savitski_21.PDF | 801,62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.