Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч

Савицкий, Александр Александрович

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Савицкий, Александр Александрович	-
dc.date.accessioned	2021-12-02T11:50:33Z	-
dc.date.available	2021-12-02T11:50:33Z	-
dc.date.issued	2021-06-30	-
dc.identifier.uri	https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439	-
dc.description.abstract	Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия	ru
dc.title	Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч	ru
dc.type	syllabus	ru
dc.rights.license	CC BY 4.0	ru
Appears in Collections:	Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
Prog_Savitski_21.PDF		801,62 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar