Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Савицкий, Александр Александрович | - |
| dc.date.accessioned | 2021-12-02T11:50:33Z | - |
| dc.date.available | 2021-12-02T11:50:33Z | - |
| dc.date.issued | 2021-06-30 | - |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/272439 | - |
| dc.description.abstract | Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия | ru |
| dc.title | Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальностей: 1-31 05 01 Химия (по направлениям) направление специальности:1-31 05 01-01 Химия (научно-производственная деятельность). № УД-10042\уч | ru |
| dc.type | syllabus | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| Располагается в коллекциях: | Физическая химия и технология тонкопленочных сенсоров и микросистем | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Prog_Savitski_21.PDF | 801,62 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.